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クリーンルームイオンモニター

ガス捕集ユニット
NS-171

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基本情報

NS-171 ガス捕集ユニット

半導体集積回路の高集積化などにともない、クリーンルームの清浄度に対する要求は極めて高くなってきています。歩留まり悪化を防ぐために、パーティクル汚染に加え、極微量の分子状汚染物質 (AMC : Airborne Molecular Contaminant) による汚染や金属汚染の管理の重要性も認識されています。

NS-171 ガス捕集ユニットは、クリーンルームモニタリングのための装置です。

特長

サンプル吸引と流路切替

クリーンルーム中の測定ポイント、最大16ポイントからサンプルガスを吸引できます。
マルチポジションバルブで順次切り替えながらガス捕集部に導入します。
サンプルチューブ内への吸着の影響を抑えるため、測定中にあらかじめ次回測定ポイントのガスを吸引し、置換することができます。そのためサンプルラインは50mまで対応可能です。

ガス捕集 ~インピンジャ

ガス捕集部に導入されたガスは、インピンジャ内で純水でバブリングすることにより、粒子・ミスト・ガス状の測定対象物質が純水に吸収されイオンになります。このイオンをイオンクロマトグラフへ導入します。
1chあたり2本のインピンジャを持つためオーバーラップ捕集が可能です。

測定 ~イオンクロマトグラフ

NS-171に接続するイオンクロマトグラフは、市販品で対応可能です。
(*ドライ接点でスタートが可能なこと。定量結果がcsvファイルで出力できること。)

測定対象物質

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