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大塚電子株式会社

FE-3000
反射分光膜厚計

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仕様

測定項目

仕様

  標準タイプ 厚膜対応タイプ
測定レンジ 1 nm ~ 40 μm 0.8 μm~ 250 μm
測定波長範囲 190 nm ~ 1100 nm 750 nm ~ 850 nm
検出器 電子冷却型フォトダイオードアレイ 512ch
電子冷却型CCDエリアイメージセンサ 512ch
電子冷却型フォトダイオードアレイ 512ch
光源 D2/I2(紫外-可視仕様)
D2(紫外仕様)
I2(可視仕様)
I2(可視仕様)
電源 AC100V±10V 750VA (自動ステージ仕様)
寸法 481(W) × 770(D) × 714(H) mm (自動ステージ仕様、本体部)
重量 約 96 kg (自動ステージ仕様、本体部)

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