HOME > 製品情報 > 大塚電子 > 反射分光膜厚計 : 基本情報
大塚電子株式会社

FE-3000
反射分光膜厚計

お問い合わせ

基本情報

製品イメージ

紫外・可視域から近赤外域までの顕微反射スペクトル測定により,高精度な膜厚測定が可能な分光干渉式膜厚計です。多層薄膜から厚膜まで幅広いサンプルの膜厚測定を高速・高精度で実現。非線形最小二乗法薄膜解析ソフトウェアにより多層薄膜の膜厚解析,光学定数解析などによる膜物性解析が可能です。

特長・機能

高性能・高再現性を実現

幅広い膜厚・膜種に対応


ガラス基板上薄膜の膜厚解析

DLC膜の膜厚・膜質解析

分野・サンプル

ページトップへ戻る

製品情報