<<仕様>>
装置寸法 : (チャンバ形状) Φ140 × 97H
ポート : 最大7ポート取付可能
<<特徴>>
1 ) 必要なポート数での装置構成が可能です。
2 ) アルミ本体のため、軽量化されています。
3 ) 接ガス部は“硬質アルマイト処理”が施されており、オゾン発生にも対応可能です。
4 ) コストをおさえた付帯機器類(フローメーター、酸素濃度計)でセットアップした装置例です。
酸素濃度を管理した定量的なデータを得ることができます。
<<本体価格>>
¥2,200,000 (税込¥2,310,000)