エキシマ光照射装置

様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途に活用。

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エキシマ光照射装置

4インチオリジナルチャンバー式エキシマ照射装置

ラボ用小型照射器、大気圧から真空チャンバまで対応

小型172nmエキシマ照射装置

既存ラインにそのまま設置可能な小型照射装置

ハンディタイプ照射装置

商用電源にて起動し持ち運び可能な照射装置

小型搬送式エキシマ光照射装置

ワークを搬送する事で大きいワークも1本のランプで安価に表面処理が可能

大型搬送式エキシマ光照射装置

フィルム基板等の大型ワークへ対応が可能

バッチ式エキシマ光照射装置

照度ムラを抑えワークに対して精度よく表面処理が可能

ロールtoロール対応エキシマ光照射装置

ロールtoロールラインへの対応、両面照射も可能

照射器複合搭載装置(エキシマ・キセノンフラッシュ)

用途別の照射器を一括搭載。生産工程を模擬した試験機の製作が可能

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