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ナノインプリント用モールド

  

光ナノインプリントに最適な石英や熱ナノインプリントに最適なSiC、Ta等各種方式にあった材料のナノインプリント用極微細モールドを提供いたします。

SiC製

Si製

石英製

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UV透過率の高い石英、耐熱性・耐久性・耐薬品性に強いSiC等各種方式に合った材料をお選びいただけます。

熱ナノインプリンティング技術

光ナノインプリンティング技術

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参考仕様

基板 石英、CVD-SiC/Si
単結晶SiC、Ta、Si、SiO2/Si、Sin/Si
基板サイズ 3or4インチ、任意のサイズへ切り出し可能
最小パターン寸法 50nm
面積 1mm~10mm角

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Tel: 03-3299-1368

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