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HOME > 製品とソリューション > 表面処理・洗浄と表面評価
エキシマ光照射装置
サンプル照射テスト・貸出デモなどお気軽にお問合せ下さい。
※ランプ・照射ユニットについてもお問合せ下さい。
表面評価関連機器
“エキシマ発光" を利用するエキシマ光照射装置は、ガラス、金属、ポリマー樹脂などに付着した有機物などを除去する光洗浄（ドライ洗浄）や、フォトリソグラフィーのレジストのアッシング、シリコンウェハの表面改質などさまざまな用途に利用されています。
『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます。
・異材料の接着力を強化
・有機薄膜の除去
・ガラスの洗浄
・フィルムの接着強化
・電子部品の洗浄
・薄膜の密着強化
・各種塗工の濡れ性UP
・PDMSとガラスの貼り合せ
・MEMSの接着強化
・歯科医療
・医療用チューブの洗浄
・細胞培養の前処理
カーボンナノチューブ・炭素粉体・
セラミック・シリカなど μ～nm 粒径まで親水性を向上致します。
| 機能 | 内容 |
|---|---|
| 親水化 | 濡れ性改善など |
| 洗浄 | ドライ洗浄による有機物分解など |
| 密着性向上 | 濡れ性改善による密着性向上など |
| 改質 | 濡れ性改善、メッキ前処理など |
| 分解 | メタン分解/NOx分解など |
| 酸化 | ドライ酸化膜の生成など |
| 成膜 | 酸化膜の生成 |
| 架橋・重合・光配向 | Low-kキュアなど |
| VUV乾燥 | 脱水素/精密乾燥など |
| 帯電除去 | 静電気除去 |
| 蛍光 | 蛍光体色度検査など |
| 励起 | ガスの励起など |
| 生成 | 活性酸素・オゾンの生成 |
| 光CVD | CVDガス励起など |
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