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表面処理・洗浄と表面評価

Product Line-up

エキシマ光照射装置

  • 4インチオリジナル
    チャンバーエキシマ光照射装置
    オールインワンタイプ
    <ラボ用>

    4インチオリジナル<br />チャンバーエキシマ光照射装置オールインワンタイプ

  • 172nm簡易照射器
    <ラボ用>
     
     

    172nm簡易照射器

  • 搬送機構付
    エキシマ光照射装置
    <ラボ用>
     

    搬送機構付エキシマ光照射装置

  • 高照度エキシマ照射装置
    <ラボ用>
     

    高照度エキシマ照射装置

  • ロールto ロール量産機
    <試作・製造用>
     

    ロールto ロール量産機

  • 特注エキシマ・キセノン光照射
    試作実験装置
    <試作・製造用>

    特注エキシマ・キセノン光照射試作実験装置

サンプル照射テスト・貸出デモなどお気軽にお問合せ下さい。
※ランプ・照射ユニットについてもお問合せ下さい。

表面評価関連機器

  • 顕微ラマン
     

    顕微ラマン

  • 接触角測定装置 動的/静的
    (接触角計)

    接触角測定装置 動的/静的 (接触角計)

  • ナノインデンター

    ナノインデンター

  • 表面張力測定装置 動的/静的
    (表面張力計)

    表面張力測定装置 動的/静的(表面張力計)

  • 膜厚計
     

    膜厚計

  • 光スペクトラムアナライザー
     

    光スペクトラムアナライザー

エキシマ光照射装置の用途

“エキシマ発光" を利用するエキシマ光照射装置は、ガラス、金属、ポリマー樹脂などに付着した有機物などを除去する光洗浄(ドライ洗浄)や、フォトリソグラフィーのレジストのアッシング、シリコンウェハの表面改質などさまざまな用途に利用されています。

活用事例

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます。
 

主な用途

機能 内容
親水化 濡れ性改善など
洗浄 ドライ洗浄による有機物分解など
密着性向上 濡れ性改善による密着性向上など
改質 濡れ性改善、メッキ前処理など
分解 メタン分解/NOx分解など
酸化 ドライ酸化膜の生成など
成膜 酸化膜の生成
架橋・重合・光配向 Low-kキュアなど
VUV乾燥 脱水素/精密乾燥など
帯電除去 静電気除去
蛍光 蛍光体色度検査など
励起 ガスの励起など
生成 活性酸素・オゾンの生成
光CVD CVDガス励起など

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