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キャニスタークリーナー
Entech 3100D

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Entech 3100D キャニスタークリーナー

Entech 3100Dは短時間で効率的にキャニスターをクリーニングできるオーブンタイプのクリーナーシステムです。

特長・機能

2つのモデル

キャニスターオーブン仕様では6Lキャニスターが4個、MiniCanオーブン仕様ではMiniCanが16個、同時クリーニング可能です。

コンタミネーションの無い一方流路

2ステージダイヤフラムポンプとモレキュラードラッグポンプ(ターボポンプ)による2段階減圧と、バブリング加湿した高純度窒素による加圧を繰り返すことでキャニスターをクリーニングします。加湿ガスラインと排気ラインは独立した一方流路になっていてコンタミネーションの心配がなく、短時間のクリーニングが可能です。

オーブン仕様

オーブン

キャニスターの加熱にはオーブンを用いているため、全体を均一に加熱でき、マントルヒーターでは困難なバルブ部分のクリーニングも可能です。3100D 1台でオーブン4台まで接続可能です。6Lキャニスターなら最大16個同時クリーニングが可能になります。

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