セミオートプローバー

各種インチサイズに対応した、セミオートプローバー
半導体パラメータアナライザ

電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超速パルスI-Vの同期測定を実現。
パーティクルカウンター

マイクロオーダーからナノオーダーまで超クリーン環境においても高精度での測定が可能。
AFM(原子間力顕微鏡)

ナノスケールにおける構造の可視化、または電気的、機械的、材料特性評価を。
顕微分光膜厚計

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能。
レーザー顕微鏡

非接触・非破壊で試料表面の微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡。