モバイルの普及、自動車の電動化、あらゆる分野のデジタル化など、半導体の需要が加速しています。製造工場でも需要に対応するため、生産性向上や品質向上など高度な運営が要求されています。西川計測は、クリーンルーム空調、排水設備、ガス供給設備、純水設備などあらゆる設備の監視・制御を手掛け、半導体工場の安定稼働や製品の品質安定化を支えています。各設備の監視、製造データのデジタル化、保全業務の最適化など、設備導入からソフトウエア開発まで西川計測の持つ幅広いエンジニアリング力で、工場の安定操業、データ活用による品質向上をサポートします。
ユーティリティ設備統合監視
半導体工場では空調、造排水、ガス供給、薬品供給など多くのユーティリティ設備が稼働しています。歩留まり改善や生産性向上に各社が取り組んでおり、これらユーティリティ設備の安定稼働が求められます。
当社は各設備の統合監視や制御の改善を実現し、生産性向上に向けて工場全体の安定操業をサポートします。また使用エネルギーの統合管理を実現する事により、操業改善や効果の見える化などエネルギー削減の取組みをサポートします。
排水処理監視制御
半導体製造工程において、薬品を利用したエッチングや洗浄は欠くことのできない工程です。これらの工程で出た排水の処理設備において、当社では水質の計測、処理槽の監視・制御による自動化など、お客様の課題・テーマに合わせて設備導入をサポートしています。
ガス監視システム
半導体製造工程では可燃性や毒性が極めて高いガスが多数使用されています。ガス漏れによる事故や作業者の安全を守るため、これらガスの取り扱いは法令によって厳しく管理されており、ガスの漏れ検知も義務付けられています。
当社ではガス漏れの検知から稼働設備の異常監視含めたインターロックシステムなど、半導体を安全に製造できる環境の構築をサポートします。