エキシマ光照射装置
４インチオリジナルチャンバー式エキシマ照射装置
ラボ用小型照射器、大気圧から真空チャンバまで対応
小型172nmエキシマ照射装置
既存ラインにそのまま設置可能な小型照射装置
ハンディタイプ照射装置
商用電源にて起動し持ち運び可能な照射装置
小型搬送式エキシマ光照射装置
ワークを搬送する事で大きいワークも1本のランプで安価に表面処理が可能
大型搬送式エキシマ光照射装置
フィルム基板等の大型ワークへ対応が可能
バッチ式エキシマ光照射装置
照度ムラを抑えワークに対して精度よく表面処理が可能
ロールtoロール対応エキシマ光照射装置
ロールtoロールラインへの対応、両面照射も可能
照射器複合搭載装置(エキシマ・キセノンフラッシュ)
用途別の照射器を一括搭載。生産工程を模擬した試験機の製作が可能