基本情報
紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光器です。
最短5msで分光スペクトル測定が可能です。
特長・機能
広いダイナミックレンジ、高速・高再現性、軽量・コンパクト
- 広いダイナミックレンジを有し、全光束測定に最適です。
- 低迷光機能搭載により、UV評価や量子効率評価に最適です。当社従来機種に比べて迷光率を約1/5にしました。
- 露光時間の高速化（最短5ms）と高い直線性を実現。発光体測定にも最適です。
- 軽量、コンパクトな縦置きタイプで、従来機に比べて容積比約40％へ小型化しています。
- スクランブルファイバーの採用により、高い再現性を実現しています。
オプティカルファイバーによりさまざまな測定系に対応可能
標準装備のオプティカルファイバーによる、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。また顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。
応用システム
蛍光測定システム
- 蛍光粉体の紫外励起蛍光スペクトル測定
- 蛍光材料（PDP、EL、LEDなど）の蛍光スペクトル測定
- エレクトロルミネッセンス測定
反射測定システム
- 光学材料、反射板などの表面特性
- 各種ガラスの反射特性
- 反射防止膜の反射特性
透過・吸収特性システム
- 反射防止膜の反射特性
- 透過材料の透過吸収測定（フィルタ、フィルム、ガラスなど）
- LB膜、機能性分子膜の透過吸収測定
膜厚測定システム
- フィルム、塗布膜、接着膜の膜厚・膜質評価
- ウェハー上、ガラス基板上、アルミ基板上膜の膜厚･膜質評価
- 材料表面の反射特性
真空蒸着モニターシステム
- 反射防止膜の膜厚および反射率測定
- 半導体ウェハー上の膜厚、各種基板上の膜厚測定
- 機能性フィルムの品質管理
偏光特性測定システム
- 位相差フィルム、偏光フィルムの透過特性評価
- 機能性フィルムのリタデーション評価
- プリズム、フィルタのリタデーション評価
微小光学素子測定システム
- ビームスプリッター、ピックアップレンズ用マイクロレンズ、回折格子などの透過・反射測定
- プリズム、ダイクロイックミラーなどの透過・反射測定
仕様
測定項目
- 発光スペクトル測定
- 透過・吸収スペクトル測定
- 反射スペクトル測定
- 蛍光測定
- 物体色測定
- 光源色測定（色度・輝度・照度）
- 膜厚測定
仕様
| 型式 | MCPD-9800 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | ||||||
| 測定波長範囲（mm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | |||||
| 分光器 | フラットフィールド型 | |||||||||
| 検出素子 （ch） | 電子冷却型CCDイメージセンサ | 電子冷却型 InGaAsリニアイメージセンサ | ||||||||
| 1素子当たりの波長幅 （nm/素子） | 512 | 1024 | 512 | 1024 | 512 | 1024 | 512 | 1024 | 512 | |
| 1.4 | 0.7 | 1.4 | 0.7 | 1.0 | 0.5 | 1.6 | 0.8 | 1.9 | ||
| オプティカルファイバー | 石英製ファイバー、口金φ12mm、長さ約2m | Geドープ 石英ファイバー 長さ約2m | ||||||||
| スキャン時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | ||||||||
| 通信インターフェース | USB、またはLAN | |||||||||
| 消費電力、 電源電圧 | 125VA、単相AC100～240V 50/60Hz | |||||||||
| 寸法、重量 | 105(W)×230(H)×280(D)mm、約6kg* | |||||||||
※特注により、複数の分光器を組み合わせた広波長域測定仕様への対応も可能です。