基本情報
今まで見えなかったものが見える
サンプルを置くだけで瞬時に測定可能
MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。
特長
- nｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
- 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
- フォーカス不要で高速測定が可能
- 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
- 任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易
観察法
今までに無い独自の観察方法
対象物にレーザーを当てることで、厚みと屈折率の変化によって波面が変化します。その変化を波面センサでとらえ、独自のソフトウェア上で数値解析し、像を再生しています。
瞬時に深さ方向1400μmのフォーカス情報を一斉に取得可能
700×700μm、深さ方向1400μmの情報を瞬時に測定します。約2μmの分解能のスライス像の情報を取り込み、約700枚のスライス像を取得します。その情報をデジタルリフォーカシングすることにより三次元構造の追加検証が可能です。
測定例
目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化
nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得できます。ワンショットで深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム表面の傷や欠陥の断面形状を可視化し数値化することが可能です。
透明フィルムの内部にあるフィラーを観察
目視では見えない透明フィルム内部にあるフィラーをワンショットで観察することができます。また、測定後に深さ方向へピントを変えていくことにより、各深さでのフィラーを識別することが可能です。
スライドガラス表面に形成された透明形状を可視化・定量化
目視では確認できない表面や内部に形成した透明構造物を迅速に可視化し数値化することが可能です。
スライドガラス上の変化していく透明形状をリアルタイム観察
ワンショット撮像モードでは、液体など刻一刻と変化する形状を可視化・数値化可能です。動的に変化していく対象物の評価、動的な現象のメカニズム解明に活用できます。
