セミオートプローバー
各種インチサイズに対応した、セミオートプローバー
半導体パラメータアナライザ
電流-電圧（I-V）測定、容量-電圧（C-V）測定、超速パルスI-Vの同期測定を実現。
パーティクルカウンター
マイクロオーダーからナノオーダーまで超クリーン環境においても高精度での測定が可能。
AFM（原子間力顕微鏡）
ナノスケールにおける構造の可視化、または電気的、機械的、材料特性評価を。
顕微分光膜厚計
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能。
レーザー顕微鏡
非接触・非破壊で試料表面の微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡。