基本情報
Entech 3105D+は、キャニスターもしくはMiniCanを短時間で効率的にクリーニングするためのシステムです。
オーブンで加熱したキャニスターに、加湿した高純度ゼロガスを導入、ポンプで減圧することを繰り返すことでクリーニングを行います。
6Lキャニスターを4缶同時にクリーニング可能です。
特長・機能
最適な流路
洗浄用の加湿ゼロガスを充填するためのラインと、排気ラインは別になっています。 コンタミネーションの低減とクリーニング時間の短縮につながります。
オーブン仕様
オーブンで加熱することで、バルブを含めたキャニスター全体を均一に加熱することができます。
仕様・環境
仕様
| 加熱方式 | オーブン |
|---|---|
| 6Lキャニスター接続数 | 4缶 |
| 制御 | Windows 10, 11 Pro 対応ソフトウェア |
| 外寸 | 3100D本体 W 229 × D 533 × H 382 mm 3105オーブン W 400 × D 447 × H 610 mm |
| 電源 | 単相100V |